主要研究方向
* 光刻机浸液系统
* 面向微纳制造的流体部件
* 超精密加工与测量技术
* 微纳器件与系统集成技术
* 人机交互与传感器网络
* 微纳传感与驱动的应用技术
* MEMS与微纳制造技术
* 新型精密气动元件及系统
所 长：刘涛教授
副所长：谢金教授，刘昊副教授
电话：0571-87951314（转6221）
E-mail: micronano@zju.edu.cn
