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研究所
简介

纳技术与精密工程研究所于2017年由机械工程学院机械电子控制工程研究所中相关专业教师组建,是一个从事微纳制造和...


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研究方向

针对光刻机浸液系统技术,面向直接影响光刻机曝光分辨率、产率与良品率的浸液系统三大技术难题:扫描牵拉残留液滴/液膜、曝光流场污染与应力、两相回收诱发振动,在浸没流...

面向国防军工、航空航天、光学及光电子仪器、高档医疗设备等领域高精度制造需求,研究超精密智能制造与在位/在线测量技术,改变陶瓷、蓝宝石等硬脆材料部件、特种精密光学...

最新新闻

2018年1月13日下午,研究所全体成员在味事浙江会议室召开了研究所成立后的第一次务虚会,研究讨论了研究所定位、发展方向、人才引进等重要事宜。

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浸没式光刻机系统项目开展光刻机浸液系统技术研究,研制成功45nm浸液系统样机

 

 

学术报告

非制冷红外成像应用领域主要包括热成像、监控、消防以及国防。另外,个人视觉、汽车、消费类以及医疗等应用领域也呈现出不断增长的市场机遇。根据《非制冷红外成像技术及市场趋势-2016版》报告,2016-2021年间,非制冷红外成像仪市场将以15.8%的复合年增长率快速成长,预计2021年的出货量将达到15...