自2013年起，项目组在自然科学基金等项目资助下，开展MEMS谐振器及谐振式传感器研究，项目组发表SCI期刊论文20余篇，获授权发明专利3余项。
浸没式光刻机是目前实现45nm及以下线宽集成电路制造的核心装备，其自主研制是我国形成高性能集成电路产品自主制造能力必须突破的关键瓶颈。
项目组发表SCI期刊论文40余篇，获授权发明专利60余项。2017年，所研制的45nm浸液系统样机（含超纯水系统、超纯气系统、输控与回收系统、浸没单元、磁浮隔振机构等）通过了整机单位的现场考核与02专项专家组的验收，项目组还获得新一轮重大专项资助，承担28nm浸液系统产品研制任务。
本项目基于自动跟踪原理研发了的非接触式轮廓仪，能够实现光学自由曲面面形特征的高效精密测量。
项目研发可适用于大面积、高深-宽比微纳计量的跨尺度、超精密测量装备。发展了“探头-样品”副耦合特性理论及其稳态控制策略，实现了深沟槽微纳结构、高精度光学自由曲面等结构的超精密测量。
本项目实现了微纳器件的高效率、高精度三维成像和检测：包括快速扫描模式、自回归反卷积、多层同时扫描、智能识别等关键技术。
研发出应用于人体动力学分析的穿戴式传感器系统，解决了人体关节和肌肉力的定量分析只能依赖高速照相机运动捕捉和固定式测力板系统的国际技术难题。
将人体下肢关节和肌肉力信息反馈到一个减负悬挂系统，研制了一种最大限度发挥病人自身康复运动能力的站立训练系统。该方向的创新点在于同时考虑到人因问题和人机物理交互的控制系统设计。
研制了患者在家康复病床，可实现远程控制（移动终端）、压疮预防的智能翻身、在线的生理信息数据等功能。
项目研发了基于气动肌肉驱动的外骨骼助力机器人机构，研究了人机协同控制理论及运动控制方案。
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