针对光刻机浸液系统技术，面向直接影响光刻机曝光分辨率、产率与良品率的浸液系统三大技术难题：扫描牵拉残留液滴/液膜、曝光流场污染与应力、两相回收诱发振动，在浸没流体界面行为及其控制、浸没流场分布形态检测与污染物控制、气液两相流态调制与振动抑制等方面开展研究。
面向国防军工、航空航天、光学及光电子仪器、高档医疗设备等领域高精度制造需求，研究超精密智能制造与在位/在线测量技术，改变陶瓷、蓝宝石等硬脆材料部件、特种精密光学及光电元器件的制造工艺与流程，提升制造精度和加工效率，并开展加工与检测装备、智能传感与检测单元等产业化及相关技术服务。
人机交互与传感器网络
微纳传感与驱动的应用技术
面向航空航天、消费电子、物联网、医疗设备等领域，研究基于新传感机制和新功能材料的高精度微传感器和驱动器，包括谐振器及谐振式传感器、加速度计、电荷传感器、气体传感器、超声波换能器等。
面向微纳和精密制造需求，研究新型高性能精密气动元件，并开展基于新型气动元件的外骨骼及软体机器人等系统研究。
微纳器件与系统集成技术
面向微纳制造的流体部件
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