MEMS与微纳制造技术

发表时间:2018-03-27 14:42:15

面向航空航天、消费电子、物联网、医疗设备等领域，研究基于新传感机制和新功能材料的高精度微传感器和驱动器，包括谐振器及谐振式传感器、加速度计、电荷传感器、气体传感器、超声波换能器等。