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  • 气动外骨骼实验

    项目研发了基于气动肌肉驱动的外骨骼助力机器人机构，研究了人机协同控制理论及运动控制方案。

  • 浸没式光刻机系统

    项目开展光刻机浸液系统技术研究，研制成功45nm浸液系统样机